SMU 2600B：单或双通道系统

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简述

Keithley 2600B 系列系统 SMU 仪器是业界标准电流-电压源和测量解决方案，适用于高度自动化生产测试应用。双通道和单通道型号都紧密集成一个精密电源、真正电流源、数字万用表和具有脉冲生成功能的电子负载。另外，TSP® 技术可运行完整测试程序，适用于自动化系统应用，TSP-链路®技术允许菊花式链接最多 64 条通道，适用于大容量并行测试。

型号

型号	通道	最大电流源/量程	最大电压源/量程	测量分辨率（电流/电压）	电源
2601B	1	10A	40V	100fA / 100nV	200 W
2611B	1	10A	200V	100fA / 100nV	200 W
2604B	2	10A	40V	100fA / 100nV	200 W
2614B	2	10A	200V	100fA / 100nV	200 W
2602B	2	10A	40V	100fA / 100nV	200 W
2612B	2	10A	200V	100fA / 100nV	200 W
2635B	1	10A	200V	0.1fA / 100nV	200 W
2634B	2	10A	200V	1fA / 100nV	200 W
2636B	2	10A	200V	0.1fA / 100nV	200 W

2601B、2602B、2604B 系统 Sourcemeter SMU 仪器

2601B、2602B 和 2604B 系统 Sourcemeter SMU 仪器为 40W DC / 200W 脉冲 SMU，支持 10A 脉冲，3A 至 100fA 和 40V 至 100nV DC。它们将精密电源、实际电流源、6½ 位数字万用表、任意波形发生器、脉冲发生器和电子负载的功能结合在一起 – 全部整合至一台紧密集成的仪器中。2601B 是单通道型号，其中 2602B 和 2604B 是双通道型号。

特点

0.015% 基本测量精度，具有 6½ 位分辨率
2604B 标价不含 TSP-Link、数字 I/O 和接触检查
后面板 Phoenix 连接器实现快速信号连接
与 KickStart 软件结合使用

2611B、2612B、2614B 系统 Sourcemeter SMU 仪器

2611B、2612B 和 2634B 系统 Sourcemeter SMU 仪器为 30W DC / 200W 脉冲 SMU，支持 10A 脉冲，1.5A 至 100fA 和 200V 至 100nV DC。所有 2600B SMU 均配备吉时利 TSP 脚本处理和 TSP-Link 扩展技术。2611B 是单通道型号，其中 2612B 和 2614B 是双通道型号。

特点

0.015% 基本测量精度，具有 6½ 位分辨率
2614B 标价不含 TSP-Link、数字 I/O 和接触检查
后面板 Phoenix 连接器实现快速信号连接
USB 2.0，L XI-C，GPIB，RS-232

2634B、2635B、2636B 系统 Sourcemeter SMU 仪器

2634B、2635B 和 2636B 系统 Sourcemeter SMU 仪器为 30W DC / 200W Pulse SMU，支持 10 A 脉冲，1.5A 至低至 0.1 fA 和 200 V 至 100 nV DC，是测试非常敏感的低电流半导体设备等的完美之选。2635B 是单通道型号，其中 2634B 和 2636B 是双通道型号。

特点

0.015% 基本测量精度，具有 6½ 位分辨率
2634B 标价不含 TSP-Link、数字 I/O 和接触检查，1fA 测量分辨率
后面板三轴连接器，用于非常低的电流测量
每秒输入高达 20,000 个读数到内存中

2600B-PM-1 200V 保护模块

带 1 A 电流钳的 2600B-PM-1 200 V 型保护模块是个独立模块，可保护 2635B 和 2636B 型免受瞬态过电流情况的损害。适用于存在设备故障或存在可能与 1000 V 电源或 SMU 仪器的高压输出有关的其他潜在故障的应用。

特点

适用于 2635B 型和 2636B 型
最大直流电流为 100 mA
电流钳可防止高达 1 A 的 < 100 μs 瞬态电流峰值

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